Nikonアプリケーションスペシャリストである担当教員が、SiCやGaNと
いった次世代パワー半導体向けの材料の内部に潜む欠陥や不純物分布を
非破壊かつ3Dで観察できる「MPPL法」という技術紹介を行います。
第3回目は、「多光子顕微鏡システムの半導体への応用」という内容で下記の通り開催します。
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日程:2024年10月15日(水)
時間:10:00~17:00 (12:00~13:00休憩)
担当:名古屋大学未来社会創造機構
名古屋市量子産業創出寄附研究部門 鶴旨篤司 特任准教授
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